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SWIR與InGaAs圖像傳感器 索尼SWIR圖像傳感器

        全球著名大型綜合性跨國企業索尼研發了一款短波紅外(short-wavelength infrared,簡稱SWIR)圖像傳感器。該圖像傳感器部署了5μm像素,創造了傳感器像素最小的記錄。另外,這款圖像傳感器還涵蓋了可見光光譜。


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短波紅外(SWIR)與砷化銦鎵(InGaAs)圖像傳感器


        SWIR從狹義上來分類,是指波長為1.1-1.7μm的紅外光。從廣義上來分,擴大為0.7-2.5μm的波長范圍。由于硅基傳感器的波長上限只能達到約1.0μm,所以,在SWIR范圍內使用的傳感器,絕大部分都是銦鎵砷(InGaAs)圖像傳感器


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濱松InGaAs線陣圖像傳感器


        InGaAs圖像傳感器可以覆蓋基本上所有的SWIR波段,甚至向下可以擴展到550nm。銦鎵砷(InGaAs)圖像傳感器可以分為線陣和面陣兩種類型,其中,InGaAs面陣圖像傳感器受到由美國主導的國際武器貿易條例(ITAR)的限制,只能在獲得適當許可的條件下,用于特定的商業用途。


短波紅外(SWIR)的特性


        為什么SWIR會有從廣義和狹義的兩個波長分類呢?與SWIR相對應的,還有MIR(中紅外)和LWIR(遠紅外),所有物體本身都會輻射MIR和LWIR。這就是從廣義上的分類。


        從狹義上來講,波長0.75μm-1.1 μm的紅外光,我們又習慣稱之為近紅外(Near Infrared,簡稱NIR)。近紅外最大的應用是夜視成像,利用周圍環境的星點光和背景輻射發出的近紅外光,進行視覺成像。


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        SWIR具備很多可見光不擁有的特性。SWIR可以穿過煙霧、水蒸氣,甚至是硅基材料物體。很多在可見光環境下,肉眼無法區分的顏色,在SWIR設備下可以非常輕松的區分。


短波紅外(SWIR)的應用范圍


        SWIR具有非常廣泛的應用。結合熱成像相機來檢測某些范圍的紅外光,可以檢測體溫。根據SWIR在反射和吸收方面與其它可見光的不同特性,SWIR圖像傳感器可以將一些人眼無法識別的事物具象化,例如生產檢查、過程質量控制、識別與排序、電子板檢查等。


索尼短波紅外(SWIR)圖像傳感器


        以往的圖像傳感器由于像素很大,尺寸的限制使得無法在傳感器中放置更多個像素,導致圖像質量不高,還需要對生成的圖像進行繁瑣的后期處理。索尼SWIR圖像傳感器成功將像素縮小到了5μm,成功的解決了這個問題。通過將像素小型化,索尼SWIR圖像傳感器能夠識別以前無法檢測到的極小損壞。


        另外,傳統圖像傳感器使用凸塊連接,例如使用金屬球將像素內的磷化銦層與硅層連接起來。為了減小像素尺寸,必須將金屬球精準地對準微米級的凸點間距,這操作以來本身就很困難,而且還造成了成本的上漲。


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        索尼采用銅-銅(Cu-Cu)連接的方法來解決這個問題。通過銅焊接盤來提供連續供電,可以在堆疊背照式CMOS 圖像傳感器(頂部芯片)和邏輯電路(底部芯片)時,增加更多的設計自由度,同時還能在保證性能的前提下,為設計更緊湊的尺寸提供了可能。


        SWIR圖像傳感器集成了由InGaAs材料制成的光電二極管。由于InGaAs必然會帶有磷化銦 (InP)層,而磷化銦 (InP)層會阻擋可見光。索尼采用的銅-銅(Cu-Cu)連接方式可以降低磷化銦 (InP)層厚度,以達到可以讓可見光通過的程度。因此,索尼的SWIR圖像傳感器還可以在可見光下進行成像。

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