頂點光電子商城2022年8月9消息:近日,江蘇天芯微半導體設備有限公司(以下簡稱“天芯微”)首臺先進制程硅基外延設備首發儀式在無錫高新區舉行。
天芯微成立于2019年8月,是先導集團旗下的一家集成電路高端裝備制造商,項目前期投資數億元,專注于半導體前道關鍵工藝機臺研發,首款產品是IC制造中前道外延設備,廣泛應用于28nm及以下先進工藝制程的邏輯芯片代工、3D NAND 存儲產品、以及諸多功率器件的生產制造。團隊核心人員來自世界知名半導體設備公司,擁有30多年半導體行業經驗,曾主持和參與多款前道工藝設備的研發和驗證工作等,公司以硅基外延技術為核心,致力于半導體前道關鍵工藝設備的研發與制造,為集成電路行業提供極具競爭力的高端設備和高品質的服務。
天芯微此次發布的Epi 300 Compass AP硅基外延減壓設備是半導體前道工藝中的關鍵設備,廣泛應用于功率器件、28nm及以下先進制程的邏輯、存儲器件的生產制造。Epi 300 Compass AP的各項性能均達到了國際先進水平,部分核心性能已經超過國際同類產品,并得到了客戶的肯定。
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