歡迎光臨頂點(diǎn)光電子商城!專業(yè)的光電器件與集成電路采購(gòu)平臺(tái)！
頂點(diǎn)光電子商城2022年9月8消息：近日，上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司完成了針對(duì)刻蝕應(yīng)用場(chǎng)景的光譜儀—ZURO系列產(chǎn)品的研發(fā)與量產(chǎn)導(dǎo)入。
ZURO系列光譜儀匹配半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，滿足針對(duì)金屬刻蝕、單多晶硅刻蝕、化合物刻蝕及高速清洗等多個(gè)應(yīng)用場(chǎng)景需求，具有信號(hào)精準(zhǔn)、性能長(zhǎng)期穩(wěn)定、Fab生產(chǎn)環(huán)境適應(yīng)等特點(diǎn)。該系列產(chǎn)品具備高靈敏、高信噪比等優(yōu)勢(shì)，單幀采集最大動(dòng)態(tài)范圍突破40000:1，優(yōu)于同類國(guó)外產(chǎn)品，能夠有效提取深孔和多晶硅刻蝕過(guò)程中的弱信號(hào)。
此外，為ZURO系列光譜儀配備的軟件，ideaEPD是一款由復(fù)享光學(xué)深入客戶應(yīng)用開(kāi)發(fā)的Fab工藝專用軟件，支持自定義終點(diǎn)算法、工藝終點(diǎn)分析、高速采樣監(jiān)控、刻蝕深度監(jiān)控等功能，能實(shí)現(xiàn)多達(dá)10臺(tái)腔體的同時(shí)監(jiān)控。
復(fù)享光學(xué)已完成ZURO系列產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)驗(yàn)證與量產(chǎn)準(zhǔn)備，能為客戶進(jìn)行差異化的定制開(kāi)發(fā)，解決頭部客戶的關(guān)鍵光學(xué)零部件供應(yīng)安全問(wèn)題。目前，復(fù)享光學(xué)的多系列光譜模組產(chǎn)品已經(jīng)獲得多家半導(dǎo)體頭部客戶的驗(yàn)證、生產(chǎn)導(dǎo)入及小批量訂單。隨著對(duì)需求響應(yīng)的不斷深入和工程參數(shù)的持續(xù)優(yōu)化，復(fù)享光學(xué)從起量階段逐步進(jìn)入到放量階段，以光譜硬科技助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司于2011年6月29日在上海市工商局登記成立。法定代表人殷?，|，公司經(jīng)營(yíng)范圍包括光學(xué)科技，儀器設(shè)備、新材料、檢測(cè)技術(shù)、醫(yī)藥等。本次發(fā)布為集成電路產(chǎn)業(yè)提供了面向6、8、12寸制程刻蝕工藝的光譜檢測(cè)解決方案。
鄂公網(wǎng)安備 42011502001385號(hào) 鄂ICP備2021012849號(hào) 
