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         頂點光電子商城2022年10月27日消息：近日，中微半導體設備（上海）股份有限公司宣布：全球第 500 臺 MOCVD 設備順利付運國內一家專業從事 LED 外延片和芯片的研發生產制造商。

         本批次運付的第 500 臺 MOCVD 設備為中微公司 2021 年 6 月推出的 Prismo UniMax ?，主要用于氮化鎵基 Mini LED 外延片量產。

          Prismo UniMax是MOCVD設備系列新一代產品，該產品系列還包括Prismo D-BLUE、Prismo A7、Prismo HiT3和Prismo PD5。2013年，中微公司率先發布國內自主研發制造的量產型MOCVD設備Prismo D-BLUE。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出了Prismo A7、Prismo HiT3、Prismo UniMax和Prismo PD5產品。

          作為專為高性能 Mini LED 量產而設計的 MOCVD 設備，Prismo UniMax ? 具備高產能和高靈活性的特點，在同一系統中可配備多達 4 個反應腔，每個反應腔均可實現獨立控制。Prismo UniMax ? 配置了 785mm 大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設計配置，最多可實現同時加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片，有效提高產能并降低生產成本。此外，Prismo UniMax ? 創新的多區輔助加熱調節系統，能精確控制托盤局部區域溫度，有助于更大程度提升 LED 波長均勻性。

          此次交付是中微公司的一次重要突破，為今后MOCVD產品市場進一步開拓奠定了堅實的基礎。

           中微半導體設備（上海）股份有限公司成立于2004年，法定代表人為尹志堯。經營范圍包括研發、組裝集成電路設備、泛半導體設備和其他微觀加工設備及環保設備，包括配套設備和零配件，銷售自產產品。提供技術咨詢、技術服務。致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。