頂點光電子商城2月6日消息：近日，晶盛機(jī)電舉行6英寸雙片式碳化硅外延設(shè)備新品發(fā)布會。
外延工藝是整個產(chǎn)業(yè)中的一種非常關(guān)鍵的工藝，由于現(xiàn)在所有的器件基本上都是在外延上實現(xiàn)，所以外延的質(zhì)量對器件的性能是影響是非常大的，但是外延的質(zhì)量它又受到晶體和襯底。加工的影響，處在一個產(chǎn)業(yè)的中間環(huán)節(jié)，對產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到非常關(guān)鍵的作用。
碳化硅外延片，是指在碳化硅襯底上生長了一層有一定要求的、與襯底晶相同的單晶薄膜（外延層）的碳化硅片。實際應(yīng)用中，寬禁帶半導(dǎo)體器件幾乎都做在外延層上，碳化硅晶片本身只作為襯底，包括GaN外延層的襯底。
浙江晶盛機(jī)電股份有限公司創(chuàng)建于2006年12月，是國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體材料裝備和化合物半導(dǎo)體襯底材料制造的高新技術(shù)企業(yè)，公司已成為全球光伏裝備技術(shù)和規(guī)模雙領(lǐng)先的企業(yè)，國內(nèi)集成電路級 8-12 英寸大硅片生長及加工設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)，公司大尺寸藍(lán)寶石晶體生長工藝和技術(shù)已達(dá)到國際領(lǐng)先水平，是掌握核心技術(shù)和規(guī)模優(yōu)勢的龍頭企業(yè)。公司為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)和化合物襯底產(chǎn)業(yè)提供智能化工廠解決方案，滿足客戶數(shù)字化智能化的生產(chǎn)模式需求。
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