頂點(diǎn)光電子商城2月28日消息：近日，中國電科46所成功制備出我國首顆6英寸氧化鎵單晶，達(dá)到國際最高水平。
氧化鎵是新型超寬禁帶半導(dǎo)體材料，擁有優(yōu)異的物理化學(xué)特性，在微電子與光電子領(lǐng)域均擁有廣闊的應(yīng)用前景。但因具有高熔點(diǎn)、高溫分解以及易開裂等特性，因此，大尺寸氧化鎵單晶制備極為困難。
中國電科46所氧化鎵團(tuán)隊(duì)聚焦多晶面、大尺寸、高摻雜、低缺陷等方向，從大尺寸氧化鎵熱場設(shè)計出發(fā)，成功構(gòu)建了適用于6英寸氧化鎵單晶生長的熱場結(jié)構(gòu)，突破了6英寸氧化鎵單晶生長技術(shù)，具有良好的結(jié)晶性能，可用于6英寸氧化鎵單晶襯底片的研制，將有力支撐我國氧化鎵材料實(shí)用化進(jìn)程和相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
近年來，以碳化硅、氮化鎵為主的第三代半導(dǎo)體材料市場需求爆發(fā)，成功贏得了各大廠商的青睞。中國電科圍繞國家戰(zhàn)略需求，在氧化鎵、氮化鋁、金剛石等超寬禁帶半導(dǎo)體材料領(lǐng)域砥礪深耕并取得重大突破和標(biāo)志性成果，有力支撐了我國超寬禁帶半導(dǎo)體材料的發(fā)展。
盡管氧化鎵發(fā)展尚處于初期階段，但其市場前景依然備受期待。有數(shù)據(jù)顯示，到2030年，氧化鎵功率半導(dǎo)體市場規(guī)模將達(dá)15億美元。
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