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SK海力士加速推進六層EUV工藝,力爭高端存儲市場領先

         頂點光電子商城2025年8月12日消息:近日,SK海力士為推動DDR5及高帶寬存儲(HBM)產品性能升級,并在新一代存儲技術中占據(jù)領先地位,計劃在量產1c DRAM上應用六層極紫外光(EUV)工藝。


           EUV技術采用13.5納米波長,可在電路中實現(xiàn)更精細的結構刻畫,減少多重圖案化步驟。傳統(tǒng)DRAM制造多采用EUV與深紫外(DUV)工藝混合,而SK海力士此次在1c DRAM全面采用六層EUV工藝,不僅可以簡化生產流程,還有助于提升產品良品率和利潤率。


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         通過該工藝,SK海力士能夠生產更高密度、更高速、更節(jié)能的DDR5及高容量HBM芯片,顯著提升產能和良品率。尤其在HBM4等未來產品中,1c DRAM的應用有望帶來性能與容量的雙重突破,為人工智能、高性能計算等領域提供更強支撐。


           在第六代DRAM的研發(fā)中,美光、三星電子和SK海力士呈現(xiàn)出截然不同的技術路線。美光采取“有限EUV”策略,三星電子已在D1c制程中引入超過五層EUV工藝。SK海力士此次在1c DRAM上應用六層EUV工藝,刷新了行業(yè)標準,在新一輪技術競賽中,此舉不僅鞏固了其在存儲市場的領先地位,也為其與三星等競爭對手的較量增添了新優(yōu)勢。


            目前1c DRAM尚未廣泛應用于主流消費級內存,但SK海力士正積極探索其在更大容量DDR5及HBM產品中的可能性。未來,隨著1d和0a DRAM等下一代產品的發(fā)展,SK海力士計劃將EUV融入到這些技術中,最終實現(xiàn)高數(shù)值孔徑(High-NA)EUV技術的集成。

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