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深圳穩(wěn)頂聚芯首臺(tái)高精度步進(jìn)式光刻機(jī)順利出廠

        頂點(diǎn)光電子商城2025年9月24日消息:近日,深圳穩(wěn)頂聚芯技術(shù)有限公司宣布,其自主研發(fā)的首臺(tái)高精度步進(jìn)式光刻機(jī)(WS180i系列)已正式完成組裝調(diào)試并成功出廠交付。


        與公眾通常關(guān)注的用于制造先進(jìn)手機(jī)和電腦CPU的極紫外(EUV)光刻機(jī)不同,WS180i系列光刻機(jī)精準(zhǔn)指向了正在蓬勃興起的化合物半導(dǎo)體和高端光電器件制造領(lǐng)域。它主要應(yīng)用于mini/micro LED光電器件、光芯片、功率器件等化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域。該光刻機(jī)覆蓋2-8英寸晶圓,分辨率達(dá)1.5μm-0.35μm,能適配硅片、藍(lán)寶石、SiC等不同襯底的光刻需求,滿足多種半導(dǎo)體制造場(chǎng)景。


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         配套設(shè)備,穩(wěn)頂聚芯還擁有套刻及關(guān)鍵尺寸光學(xué)量測(cè)設(shè)備(量測(cè)精度10nm)、超精密光學(xué)成像質(zhì)量評(píng)價(jià)系統(tǒng)、薄膜測(cè)量系統(tǒng)(膜厚測(cè)量范圍10nm-100μm)等配套設(shè)備,形成較為完整的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)品線。


         深圳穩(wěn)頂聚芯技術(shù)有限公司成立于2023年5月,位于深圳市南山區(qū),注冊(cè)資本119.21306萬(wàn)元,是一家專注半導(dǎo)體核心裝備研發(fā)、制造與銷售的高科技企業(yè)。公司核心團(tuán)隊(duì)85%以上具備國(guó)內(nèi)外知名大學(xué)研究生學(xué)歷,成員來(lái)自國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體頂尖科研院所及全球500強(qiáng)企業(yè),研發(fā)的集成電路工藝設(shè)備已通過(guò)知名廠商認(rèn)證。公司擁有2000多平米研發(fā)及生產(chǎn)廠房,包含干級(jí)裝配調(diào)測(cè)潔凈間、百級(jí)和十級(jí)實(shí)驗(yàn)室潔凈間,可支撐高端裝備研發(fā)生產(chǎn)。當(dāng)前具備年產(chǎn)20臺(tái)光刻機(jī)的產(chǎn)能,預(yù)計(jì)2025年實(shí)現(xiàn)營(yíng)收1.4億元、凈利潤(rùn)4480萬(wàn)元。


          穩(wěn)頂聚芯W(wǎng)S180i系列光刻機(jī)的成功出廠,填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)步進(jìn)式光刻機(jī)在化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的空白,打破了國(guó)外技術(shù)壟斷。該光刻機(jī)的推出將推動(dòng)功率器件、光電器件等領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程,提升我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控能力。此前,穩(wěn)頂聚芯已通過(guò)知名廠商設(shè)備認(rèn)證,獲得了客戶的高度好評(píng)。此次光刻機(jī)的成功出廠,將進(jìn)一步鞏固公司在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的市場(chǎng)地位。