頂點光電子商城2025年9月24日消息：近日，深圳穩頂聚芯技術有限公司宣布，其自主研發的首臺高精度步進式光刻機（WS180i系列）已正式完成組裝調試并成功出廠交付。
與公眾通常關注的用于制造先進手機和電腦CPU的極紫外（EUV）光刻機不同，WS180i系列光刻機精準指向了正在蓬勃興起的化合物半導體和高端光電器件制造領域。它主要應用于mini/micro LED光電器件、光芯片、功率器件等化合物半導體領域。該光刻機覆蓋2-8英寸晶圓，分辨率達1.5μm-0.35μm，能適配硅片、藍寶石、SiC等不同襯底的光刻需求，滿足多種半導體制造場景。
配套設備，穩頂聚芯還擁有套刻及關鍵尺寸光學量測設備（量測精度10nm）、超精密光學成像質量評價系統、薄膜測量系統（膜厚測量范圍10nm-100μm）等配套設備，形成較為完整的半導體裝備產品線。
深圳穩頂聚芯技術有限公司成立于2023年5月，位于深圳市南山區，注冊資本119.21306萬元，是一家專注半導體核心裝備研發、制造與銷售的高科技企業。公司核心團隊85%以上具備國內外知名大學研究生學歷，成員來自國內半導體頂尖科研院所及全球500強企業，研發的集成電路工藝設備已通過知名廠商認證。公司擁有2000多平米研發及生產廠房，包含干級裝配調測潔凈間、百級和十級實驗室潔凈間，可支撐高端裝備研發生產。當前具備年產20臺光刻機的產能，預計2025年實現營收1.4億元、凈利潤4480萬元。
穩頂聚芯WS180i系列光刻機的成功出廠，填補了國產步進式光刻機在化合物半導體領域的空白，打破了國外技術壟斷。該光刻機的推出將推動功率器件、光電器件等領域的國產化進程，提升我國半導體產業的自主可控能力。此前，穩頂聚芯已通過知名廠商設備認證，獲得了客戶的高度好評。此次光刻機的成功出廠，將進一步鞏固公司在半導體裝備領域的市場地位。
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