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天成半導體12英寸SiC新突破

        頂點光電子商城2025年10月17日消息:近日,天成半導體官微宣布,依托自主研發的12英寸碳化硅長晶設備成功研制出12英寸高純半絕緣碳化硅單晶材料,12英寸N型碳化硅單晶材料晶體有效厚度突破35㎜厚。


         據悉,天成半導體現已掌握12英寸高純半絕緣和N型單晶生長雙成熟工藝,且自研的長晶設備可產出直徑達到350㎜的單晶材料。


         資料顯示,天成半導體成立于2021年8月,是一家專注于第三代半導體碳化硅襯底材料研發、生產及晶體生長裝備制造的高新技術企業。


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          近年來,天成半導體在碳化硅領域取得了諸多重要進展,率先研發出可量產的8-12英寸導電型和半絕緣型碳化硅單晶材料。


          2022年實現了6英寸導電型和半絕緣型碳化硅晶錠的小批量生產;2023年6月實現8寸SiC單晶技術研發突破,開發出了直徑為 202mm 的8寸SiC單晶;2024年實現了8英寸SiC單晶批量生產,產品厚度均勻性誤差小于2微米。


           今年7月,天成半導體宣布成功研制出12英寸(300mm)N型碳化硅單晶材料,攻克了大尺寸擴徑工藝和低缺陷N型單晶材料的生長工藝,其創新采用的電阻爐工藝使晶體生長速度突破0.4mm/h的行業瓶頸,微管密度降至0.5個 /cm2 以下,良率達到65%。


          截至目前,天成半導體已形成了碳化硅單晶爐制造、碳化硅粉料制備、6-12英寸碳化硅單晶材料生長、生產耗材加工等完整的生產線。實現了從碳化硅長晶設備制造、粉料、籽晶、熱場設計到晶體加工等全流程工藝完全自主可控。

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