PHEMOS－XC15765－01半導體是濱松推出的新款產(chǎn)品，是一款半導體故障分析系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以借助能見光到近紅外光來解析缺點。之所以能在單個制定中完成這一點，是由于使用了新款多波長激光掃描儀，應用了濱松特有的內(nèi)部光學設計技術。光探測儀是光譜類儀器設備的“眼睛”，是收集訊號、開展訊號轉換的關鍵、核心部件，對分析儀行業(yè)的發(fā)展起著巨大的促進作用。
濱松方面稱：應用濱松內(nèi)部的光學設計技術，大家重新制定了半導體分析系統(tǒng)的內(nèi)部構件，列如使用激光束來進行掃描半導體元器件的激光掃描儀、定位半導體元器件的光學臺、寬視場觀察的微距鏡頭等。提高設備的靈敏度、分辨率、準確度和易用性，對比現(xiàn)在使用的系統(tǒng)有著很大的提升。
PHEMOS－X是一類半導體問題分析系統(tǒng)，能搭配5個激光器，輸出波長從可見光到近紅外光不等。PHEMOS－X僅用1臺設施就可以高靈敏度、高分辨率查出半導體問題。
當對半導體設備增加電壓時，半導體設備中的問題點會產(chǎn)生光和熱。在對半導體元器件增加電壓時，用激光束掃描半導體元器件，會使問題點的電流和工作狀態(tài)產(chǎn)生變化。
借助設備的這類特性，根據(jù)檢測點增加電壓造成的半導體元器件變化的訊號，開展激光掃描，并將這類訊號以圖像的形式可視化，就可以估計出問題位置。
濱松補充說，傳統(tǒng)的激光掃描儀是特意為波長為1300nm的近紅外光制定的。＂團隊再次制造了激光掃描儀的光學系統(tǒng)，以PHEMOS為依據(jù)，它能夠抑制5種激光器中的光學耗損。＂因而，只需1臺設施就可以開展半導體問題解析，借助從532nm的能見光到1340nm的近紅外光的多波長激光束。對比以前應用波長較短的激光，能夠更具體地觀察半導體元器件。它還能保證高靈敏度，以找尋和觀察功率半導體的問題點，這類問題點對能見光有響應，并非一般半導體的紅外光。＂
濱松在發(fā)布消息中透露，PHEMOS－X將于今年4月1日面對日本本土和國際半導體設備生產(chǎn)商開始售賣。半導體器件會逐步往更精細化發(fā)展，以碳化硅和氮化鎵等化學物質(zhì)為原材料的功率半導體也會越發(fā)受到關注，所以急切需要1臺能高效率判斷這些元器件問題所在位置的設備。
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