PHEMOS－XC15765－01半導體是濱松推出的新款產品，是一款半導體故障分析系統，該系統可以借助能見光到近紅外光來解析缺點。之所以能在單個制定中完成這一點，是由于使用了新款多波長激光掃描儀，應用了濱松特有的內部光學設計技術。光探測儀是光譜類儀器設備的“眼睛”，是收集訊號、開展訊號轉換的關鍵、核心部件，對分析儀行業的發展起著巨大的促進作用。
濱松方面稱：應用濱松內部的光學設計技術，大家重新制定了半導體分析系統的內部構件，列如使用激光束來進行掃描半導體元器件的激光掃描儀、定位半導體元器件的光學臺、寬視場觀察的微距鏡頭等。提高設備的靈敏度、分辨率、準確度和易用性，對比現在使用的系統有著很大的提升。
PHEMOS－X是一類半導體問題分析系統，能搭配5個激光器，輸出波長從可見光到近紅外光不等。PHEMOS－X僅用1臺設施就可以高靈敏度、高分辨率查出半導體問題。
當對半導體設備增加電壓時，半導體設備中的問題點會產生光和熱。在對半導體元器件增加電壓時，用激光束掃描半導體元器件，會使問題點的電流和工作狀態產生變化。
借助設備的這類特性，根據檢測點增加電壓造成的半導體元器件變化的訊號，開展激光掃描，并將這類訊號以圖像的形式可視化，就可以估計出問題位置。
濱松補充說，傳統的激光掃描儀是特意為波長為1300nm的近紅外光制定的。＂團隊再次制造了激光掃描儀的光學系統，以PHEMOS為依據，它能夠抑制5種激光器中的光學耗損。＂因而，只需1臺設施就可以開展半導體問題解析，借助從532nm的能見光到1340nm的近紅外光的多波長激光束。對比以前應用波長較短的激光，能夠更具體地觀察半導體元器件。它還能保證高靈敏度，以找尋和觀察功率半導體的問題點，這類問題點對能見光有響應，并非一般半導體的紅外光。＂
濱松在發布消息中透露，PHEMOS－X將于今年4月1日面對日本本土和國際半導體設備生產商開始售賣。半導體器件會逐步往更精細化發展，以碳化硅和氮化鎵等化學物質為原材料的功率半導體也會越發受到關注，所以急切需要1臺能高效率判斷這些元器件問題所在位置的設備。
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