頂點光電子商城2022年2月15日消息，TRUMPF（德國通快集團）最近成功進行了第200臺用于EUV光刻機的光源設備出貨。
EUV光刻機，顧名思義就是需要用到EUV，也就是極紫外線，來進行雕刻的器件。獲取EUV的方法是，通過錫發生器向真空室內每秒發射5萬滴錫珠，這些錫珠被激光脈沖擊中，就會電力產生高強度的等離子體，同時產生波長為13.5nm的EUV光。EUV光刻機就是通過這一過程收集EUV光，再經過反射裝置將其輸送到雕刻部位，對晶圓刻畫圖形。
這其中的關鍵就是能使錫珠電離的激光脈沖。TRUMPF在其現有的二氧化碳激光技術的基礎上，開發出了一套激光放大設備。這套放大設備的核心組件有高功率放大鏈路、光學平臺FFA、高功率種子模塊和光束傳輸系統等。這套激光放大設備有5個放大過程，總計可以將一束激光放大一萬次，即使是一束較小功率的激光，經過這套放大設備的放大之后，輸出的激光平均脈沖功率可以達到30000W，脈沖峰值功率甚至超過兆瓦。
通快集團生產車間
從2015年開始，EUV光刻機巨頭ASML開始向TRUMPF采購配件，也是從那時開始，TRUMPF就變成了EUV光刻機的配件供應商。
TRUMPF鞏固自己的江湖地位還要從收購大通激光（Access Laser）開始。大通激光是靠研發CO2激光器起家，在這一領域積累了深厚的技術。2017年，TRUMPF收購了85%的大通激光股權，利用其在定制激光器領域的技術積累，加速在EUV相關配件設備方面的研發，最終成為EUV光刻機光源的獨家供應商。
大通激光器
據公開披露的信息，TRUMPF在2020年7月1日－2021年6月30日（2021財年）實現營收月39.26億歐元（折合美元約44.45億美元），其中，EUV業務營收5.3億歐元，占比13.5%。2022財年，TRUMPF預計在EUV業務上的營收將達到6億歐元。
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