頂點光電子商城2022年6月14日消息：近日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）宣布，公司12寸KrF涂膠顯影設備已于10日入駐廈門士蘭集科。
芯源微表示，此次，公司12寸高產能KrF涂膠顯影量產機臺的交付，將會為士蘭集科提供更加高端的光刻工藝解決方案及服務，為士蘭集科后續高端產品穩定量產、產線升級擴產提供更為安全的供應鏈保障。
涂膠顯影設備是在光刻工序中和光刻機配套使用的機器，主要起到涂膠、烘烤和顯影的作用。涂膠顯影設備是集成電路生產過程中不可獲缺的設備，能夠直接影響到光刻工序中曝光圖案的形成。以及后道的封測和LED制造中，涂膠顯影設備應用領域廣闊，現已廣泛應用于集成電路、OLED、LED、化合物半導體&功率器件等先進制造領域，在晶圓生產中也起到重要作用。
芯源微成立于 2002 年，專業從事光刻工序涂膠顯影設備、單片式濕法設備等半導 體專用設備的研發、生產和銷售，并提供半導體裝備與工藝整體解決方案。公司生產的涂膠顯影設備成功打破國外壟斷，填補國內空白。經過多年技術研發， 公司已在集成電路后道先進封裝&前道晶圓加工、LED 芯片制造等領域取得重要突破。
半導體設備行業景氣度延續，涂膠顯影設備需求持續提升，晶圓產能東移背景下，前道涂膠顯影市場空間持續提升。全球范圍內來看，受益半導體行業景氣度提升，前道涂膠顯影設備市場需求穩步提升。
杭州士蘭微電子股份有限公司（600460）坐落于杭州高新技術產業開發區，是專業從事集成電路芯片設計以及半導體微電子相關產品生產的高新技術企業。公司成立于1997年9月，總部在中國杭州。2003年3月公司股票在上海證券交易所掛牌交易，是第一家在中國境內上市的集成電路芯片設計企業。得益于中國電子信息產業的飛速發展，士蘭微電子已成為國內規模最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業之一，其技術水平、營業規模、盈利能力等各項指標在國內同行中均名列前茅。
此次搬入儀式完成后，芯源微與士蘭集科簽署了戰略合作協議。
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