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魅杰光電首臺28nm套刻精度量測設(shè)備出貨發(fā)運

          頂點光電子商城2024年2月5日消息:近日,魅杰光電科技(上海)有限公司的首臺28nm套刻精度量測設(shè)備成功在浦東張江出貨,標志著魅杰光電成為國內(nèi)為數(shù)不多的技術(shù)實力和技術(shù)儲備達到國內(nèi)關(guān)鍵工藝節(jié)點上的企業(yè)。


           魅杰光電科技(上海)有限公司是一家以先進光學和計算機圖形圖像技術(shù)為基礎(chǔ),為半導體晶圓制造提供工藝控制與良率管理相關(guān)的量檢測裝備的公司,提供基于光學設(shè)計、圖像處理、算法分析以及運動控制等技術(shù)在內(nèi)的光、機、電、算、軟一體化半導體量檢測解決方案。其產(chǎn)品主要涵蓋套刻精度量測、全自動有圖晶圓缺陷檢測、無圖形晶圓缺陷檢測、關(guān)鍵尺寸量測、全場式非接觸曝光機等五大類別。


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         據(jù)悉,隨著出貨儀式結(jié)束,魅杰光電“28nm套刻精度量測設(shè)備正式裝車出貨。


          此舉標志著魅杰光電在國內(nèi)關(guān)鍵工藝節(jié)點上的技術(shù)實力和技術(shù)儲備已達到國內(nèi)領(lǐng)先水平,成為為數(shù)不多的擁有此項技術(shù)的企業(yè)。此設(shè)備可廣泛應(yīng)用于半導體制造領(lǐng)域,為提升我國半導體產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新能力提供了強有力的支持。

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