頂點光電子商城2025年5月26日消息：近日，珠海恒格微電子裝備有限公司在珠海高新區(qū)舉行了全國首臺晶圓級“等離子多驅(qū)解離刻蝕設備”發(fā)布會。這一設備的發(fā)布標志著我國在高端半導體制造核心裝備領域?qū)崿F(xiàn)了重大技術突破，為芯片制造國產(chǎn)化替代注入了強勁動能。
該設備突破了多項“卡脖子”技術難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點。可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。達到國際先進水平，填補了國內(nèi)高端刻蝕設備空白，將顯著降低晶圓廠對進口設備的依賴，助力半導體產(chǎn)業(yè)鏈安全升級。
恒格微電子與電子薄膜與集成器件全國重點實驗室簽署了深度產(chǎn)學研合作協(xié)議，雙方將圍繞半導體設備核心技術研發(fā)、專業(yè)人才培養(yǎng)等領域開展戰(zhàn)略合作。電子科技大學代表表示，此次合作將加速高校科研成果轉(zhuǎn)化，為國產(chǎn)半導體裝備技術迭代提供智力支持。
珠海高新區(qū)長期以來把集成電路產(chǎn)業(yè)作為引領區(qū)域創(chuàng)新發(fā)展的主導產(chǎn)業(yè)，瞄準高端半導體設計、設備制造、晶圓代工和先進封裝等領域強鏈、延鏈、補鏈，推動半導體與集成電路產(chǎn)業(yè)集群式發(fā)展。此次發(fā)布會的成功舉辦，將進一步鞏固珠海高新區(qū)在集成電路產(chǎn)業(yè)領域的領先地位。
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