頂點(diǎn)光電子商城2025年5月26日消息：近日，珠海恒格微電子裝備有限公司在珠海高新區(qū)舉行了全國首臺晶圓級“等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備”發(fā)布會。這一設(shè)備的發(fā)布標(biāo)志著我國在高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大技術(shù)突破，為芯片制造國產(chǎn)化替代注入了強(qiáng)勁動能。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)。可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。達(dá)到國際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國內(nèi)高端刻蝕設(shè)備空白，將顯著降低晶圓廠對進(jìn)口設(shè)備的依賴，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全升級。
恒格微電子與電子薄膜與集成器件全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室簽署了深度產(chǎn)學(xué)研合作協(xié)議，雙方將圍繞半導(dǎo)體設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)、專業(yè)人才培養(yǎng)等領(lǐng)域開展戰(zhàn)略合作。電子科技大學(xué)代表表示，此次合作將加速高校科研成果轉(zhuǎn)化，為國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備技術(shù)迭代提供智力支持。
珠海高新區(qū)長期以來把集成電路產(chǎn)業(yè)作為引領(lǐng)區(qū)域創(chuàng)新發(fā)展的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，瞄準(zhǔn)高端半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、設(shè)備制造、晶圓代工和先進(jìn)封裝等領(lǐng)域強(qiáng)鏈、延鏈、補(bǔ)鏈，推動半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)集群式發(fā)展。此次發(fā)布會的成功舉辦，將進(jìn)一步鞏固珠海高新區(qū)在集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。
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