頂點光電子商城2025年5月27日消息:近日,華鑫微納“8英寸MEMS晶圓全自動生產線”正式投產,標志著國內MEMS晶圓制造領域邁入新階段,對推動傳感器產業升級、完善產業鏈生態具有里程碑意義。
該生產線為全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線,集成硅基MEMS、壓電MEMS、CMOS-MEMS單片集成及2.5D/3D微系統集成技術,工藝兼容性強、自動化水平高。規劃月產能達3萬片,首期目標為2025年實現1萬片/月達產,將成為國內MEMS晶圓制造的核心產能基地。
作為中國傳感谷公共服務平臺的核心拼圖,生產線面向全球智能傳感器企業提供開放式、定制化代工服務,覆蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等高端領域。目前已與50家客戶達成合作意向,意向訂單約21萬片,另有3萬片合同正在洽談中,客戶群體覆蓋汽車電子、高端裝備等戰略新興產業。
8英寸晶圓是MEMS傳感器的基礎材料,此前國內高端MEMS芯片依賴進口。該生產線投產將打破技術封鎖,推動傳感器產業鏈自主可控。壓電MEMS量產線的建成,實現了國內該領域“零的突破”,為聲學、超聲等高精度傳感器提供國產化解決方案。
生產線所在的蚌埠中國傳感谷已集聚200余家傳感器相關企業,形成從研發設計、晶圓制造到封裝測試的全產業鏈布局。政府通過建設共享大宗氣站、表面處理中心等配套設施,降低企業運營成本,吸引更多企業入駐,加速產業生態完善。項目總投資50.6億元,帶動地方就業與稅收增長,助力蚌埠打造“千億級”智能傳感器產業集群。精密微納制造技術全國重點實驗室長三角產教融合協同中心等創新平臺落地,推動產學研深度融合,為產業升級提供技術支撐。
隨著生產線產能釋放,華鑫微納將進一步拓展汽車電子、醫療健康、工業物聯網等領域的市場份額,推動MEMS傳感器國產化替代。
生產線將持續優化工藝流程,探索更先進的微納制造技術,為下一代傳感器研發提供平臺支持,助力國內傳感器產業向高端化、智能化邁進。華鑫微納“8英寸MEMS晶圓全自動生產線”的投產,不僅是企業技術實力的體現,更是國家戰略新興產業布局的重要成果。其“開放式、定制化”的代工模式,將有效降低中小企業創新門檻,加速傳感器產業生態繁榮,為全球智能傳感器產業格局重塑貢獻中國力量。